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PANDORA 是高度集成的臺式原子層沉積系統，可擺放在實(shí)驗室的任意角落，采用旋轉式反應腔實(shí)現對粉末材料的分散，有更高的兼容性。對于平面樣品，則可快速插入平面反應臺，實(shí)現樣品的切換。PANDORA 高度集成的特點(diǎn)提高了使用效率，使用者甚至在安裝的第一天便可以開(kāi)始 ALD 實(shí)驗?！続LD 包覆改性方案】
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